Verfahren zum Ätzen eines in Längsrichtung an einer Ätzmaske Angebrachten Materials
EP2755909
Art B1
7. Dezember 2016
Anmelder: InvenSense, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2755909
- Aktenzeichen
- EP12839200
- Anmeldetag
- 6. September 2012
- Veröffentlichung
- 7. Dezember 2016
- Erteilung
- 7. Dezember 2016
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B81C1/00H04R19/00H04R19/04H04R31/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- InvenSense, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
InvenSense
InvenSense ist ein US-amerikanischer Hersteller von Bewegungssensoren und MEMS-Bauelementen, Teil des TDK-Konzerns. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Mess- und Prüftechnik sowie Telekommunikation und Software, ergänzt durch Halbleitertechnik. Die Anmeldungen von 2004 bis 2025 betreffen unter anderem Kartierung mittels Sensordaten und Magnetfeldmessung.
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Beresford, Keith Denis Lewis
London, Großbritannien
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