Strukturformungsverfahren, Elektronenstrahlempfindliche oder Extrem-Uv-Strahlungsempfindliche Harzzusammensetzung, Resistschicht, Herstellungsverfahren für eine Elektronische Vorrichtung damit und Elektronische Vorrichtung

EP2756353 Art B1 1. Mai 2019

Anmelder: FUJIFILM Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2756353
Aktenzeichen: EP12831380
Anmeldetag: 11. September 2012
Veröffentlichung: 1. Mai 2019
Erteilung: 1. Mai 2019
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/038C08F212/14C08F220/10G03F7/004G03F7/039H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: FUJIFILM Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Fujifilm

Japanischer Konzern, hervorgegangen aus der Fotofilmherstellung, heute aktiv in Bildgebung, Dokumentenlösungen, Materialwissenschaften sowie Diagnostik und Arzneimittelherstellung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Kunststoff- & Polymertechnik Optik & Fototechnik

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