Dünnschichtkennzeichnung und Fehlererkennung mit Hohem Durchsatz
EP2761272
Art A2
6. August 2014
Anmelder: Kla-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2761272
- Aktenzeichen
- EP12837177
- Anmeldetag
- 25. September 2012
- Veröffentlichung
- 6. August 2014
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01N21/95G01N21/84G01N21/88G01B11/06// G01N21/21
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Kla-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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Fachgebiete
Vertreten von
Keane, Paul Fachtna
Dublin, Irland
492
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16
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