Verfahren und Vorrichtung zur Erzeugung einer Reflektionsmindernden Schicht auf einem Substrat

EP2761643 Art B1 12. Juli 2023

Anmelder: Bühler Alzenau GmbH, Leybold Optics GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2761643
Aktenzeichen
EP12772719
Anmeldetag
28. September 2012
Veröffentlichung
12. Juli 2023
Erteilung
12. Juli 2023
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/32H01J37/34C23C14/00C23C14/02C23C14/50C23C14/56C23C14/52
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Bühler Alzenau GmbH
Leybold Optics GmbH
Land
🇩🇪 Deutschland

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