Vorrichtung und Verfahren zur Beschichtung von mindestens zwei Schichten auf einem Substrat

EP2762609 Art B1 17. April 2019

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2762609
Aktenzeichen: EP13153498
Anmeldetag: 31. Januar 2013
Veröffentlichung: 17. April 2019
Erteilung: 17. April 2019
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/50C23C16/455C23C16/54H01J37/32H05H1/24

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von