Verfahren zur Verhinderung von Metallverunreinungen durch einen Substrathalter

EP2763162 Art B1 11. Mai 2016

Anmelder: Oerlikon Surface Solutions AG, Pfäffikon, Sulzer Metaplas GmbH 🇨🇭

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2763162
Aktenzeichen: EP14165494
Anmeldetag: 31. Mai 2007
Veröffentlichung: 11. Mai 2016
Erteilung: 11. Mai 2016
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/687C23C14/06C23C16/26

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Oerlikon Surface Solutions AG, Pfäffikon
Sulzer Metaplas GmbH
Land: 🇨🇭 Schweiz

🇨🇭 Oerlikon Surface Solutions Ag, Pfäffikon

Oerlikon Surface Solutions AG, Pfäffikon ist eine Schweizer Gesellschaft der Oerlikon-Gruppe für Oberflächen- und Beschichtungstechnologien. Das Patentportfolio konzentriert sich stark auf Metallurgie und Oberflächentechnik, ergänzt durch Halbleiter- und Werkzeugtechnik. Die Titel betreffen unter anderem Arc-Beschichtungsquellen und hochleistungsbeschichtete Werkzeuge.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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