Steuermodul für Plasmaimmersions-Ionenimplanter

EP2764530 Art B1 20. November 2019

Anmelder: Ion Beam Services 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2764530
Aktenzeichen
EP12794357
Anmeldetag
3. Oktober 2012
Veröffentlichung
20. November 2019
Erteilung
20. November 2019
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/32C23C14/48G01R19/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Ion Beam Services
Land
🇫🇷 Frankreich
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