Verfahren zur Steuerung eines Plasmaimmersions-Ionenimplanters

EP2764531 Art B1 20. November 2019

Anmelder: Ion Beam Services 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2764531
Aktenzeichen
EP12794358
Anmeldetag
4. Oktober 2012
Veröffentlichung
20. November 2019
Erteilung
20. November 2019
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/32C23C14/48H01L21/223
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Ion Beam Services
Land
🇫🇷 Frankreich

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik
Vertreten von
Renaud-Goud, Thierry Aix-en-Provence, Frankreich
164
Patente gesamt
30
Fachgebiete
3
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Luft- & Raumfahrttechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Maschinenelemente & Fluidtechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Anzeige-, Signal- & Kontrolltechnik Verfahrens- & Trenntechnik
Zum Anwaltsprofil
Weitere Vertreter

Noch Fragen?

Wir helfen Ihnen gerne weiter. Schreiben Sie uns einfach.

Kontakt aufnehmen