System zur Erzeugung von Euv Strahlung

EP2764590 Art B1 29. Juli 2020

Anmelder: Gigaphoton Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2764590
Aktenzeichen: EP12781421
Anmeldetag: 5. September 2012
Veröffentlichung: 29. Juli 2020
Erteilung: 29. Juli 2020
Rechtsraum: EP
IPC: H01S3/23H01S3/10H01S3/107H01S3/115H01S5/40H05G2/00G03F7/20G02F1/03H01S3/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Gigaphoton Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Gigaphoton

Gigaphoton ist ein japanischer Hersteller von Excimer-Lasersystemen für die Halbleiterlithografie, ein Gemeinschaftsunternehmen unter Beteiligung von Komatsu. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Elektronik. Anmeldungen erstrecken sich von 2001 bis 2023.

539 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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