Verfahren und Vorrichtung zur Ablagerung atomarer Schichten auf einem Substrat
EP2765218
Art A1
13. August 2014
Anmelder: Nederlandse Organisatie voor toegepast- natuurwetenschappelijk onderzoek TNO, Nederlandse Organisatie voor toegepast-natuurwetenschappelijk Onderzoek TNO 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2765218
- Aktenzeichen
- EP13154339
- Anmeldetag
- 7. Februar 2013
- Veröffentlichung
- 13. August 2014
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/455C23C16/458H01L21/314C23C16/54
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Nederlandse Organisatie voor toegepast- natuurwetenschappelijk onderzoek TNO
Nederlandse Organisatie voor toegepast-natuurwetenschappelijk Onderzoek TNO - Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
TNO (Nederlandse Organisatie voor toegepast-natuurwetenschappelijk onderzoek)
Niederländisches, unabhängiges Forschungsinstitut für angewandte Naturwissenschaften mit Sitz in Den Haag. TNO betreibt anwendungsorientierte Forschung und Entwicklung in Bereichen wie Energie, Mobilität, Gesundheit, Verteidigung und Informationstechnologie.
3.525 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Jansen, Cornelis Marinus
Den Haag, Niederlande
3.760
Patente gesamt
34
Fachgebiete
37
Anmelder-Länder
Schwerpunkte