Vorrichtung, Röntgenbestrahlungsverfahren und Herstellungsverfahren für eine Struktur

EP2765407 Art B1 19. Juli 2017

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2765407
Aktenzeichen: EP12837797
Anmeldetag: 3. Oktober 2012
Veröffentlichung: 19. Juli 2017
Erteilung: 19. Juli 2017
Rechtsraum: EP
IPC: H05G1/02G01N23/04// H01J35/14

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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