Plasmazelle für eine Plasmalichtquelle mit Verzögertem Laser
EP2766919
Art A2
20. August 2014
Anmelder: Kla-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2766919
- Aktenzeichen
- EP12846194
- Anmeldetag
- 10. Oktober 2012
- Veröffentlichung
- 20. August 2014
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J63/08H01J61/12H01J61/28H01J61/52H01J65/04
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Kla-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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Fachgebiete
Vertreten von
Coyle, Philip Aidan
Dublin, Irland
642
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34
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23
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