Verfahren und Vorrichtung zur Ermittlung einer Wafergeometriemetrik
EP2766923
Art B1
14. September 2016
Anmelder: KLA - Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2766923
- Aktenzeichen
- EP12839940
- Anmeldetag
- 10. Oktober 2012
- Veröffentlichung
- 14. September 2016
- Erteilung
- 14. September 2016
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01B9/02G01B11/16G01B11/24G03F7/20H01L21/66// H01L29/24
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA - Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
495 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Coyle, Philip Aidan
Dublin, Irland
642
Patente gesamt
34
Fachgebiete
23
Anmelder-Länder
Schwerpunkte