Ausrichtungssystem und System zur Erzeugung von Extremem Uv-Licht

EP2767145 Art B1 5. April 2017

Anmelder: Gigaphoton Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2767145
Aktenzeichen: EP12773112
Anmeldetag: 5. September 2012
Veröffentlichung: 5. April 2017
Erteilung: 5. April 2017
Rechtsraum: EP
IPC: H05G2/00H01S3/223H01S3/23

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Gigaphoton Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Gigaphoton

Gigaphoton ist ein japanischer Hersteller von Excimer-Lasersystemen für die Halbleiterlithografie, ein Gemeinschaftsunternehmen unter Beteiligung von Komatsu. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Elektronik. Anmeldungen erstrecken sich von 2001 bis 2023.

539 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von