Verfahren zur Herstellung einer mikro-oder nanomechanischen Struktur, die eine poröse Oberfläche enthält
Anmelder: Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2767504
- Aktenzeichen
- EP14155613
- Anmeldetag
- 18. Februar 2014
- Veröffentlichung
- 17. Februar 2016
- Erteilung
- 17. Februar 2016
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B81C1/00
Abstract
The method involves forming a first layer i.e. silicon layer (6), whose portion is porous, and forming an inter-layer (16) on the first layer to ensure mechanical properties of a structure. A second layer is formed on the inter-layer, where a portion of the second layer is porous. The structure is formed in a stack of the first layer, the inter-layer and the second layer, where the first and second layers are made of porous silicon germanium and the inter-layer is made of non-porous silicon germanium. The structure is released by partial withdrawal of a sacrificial layer (4).
Anmelder
- Firma
- Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
- Land
- 🇫🇷 Frankreich
Die Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives (CEA) ist eine französische staatliche Forschungseinrichtung mit Schwerpunkt Kernenergie, alternative Energien und Grundlagenforschung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Software, Energietechnik und Werkstoffkunde. Anmeldungen sind seit 2000 durchgehend belegt.
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