Aminfreie Post-Kmp-Zusammensetzung und Anwendungsverfahren dafür

EP2768920 Art A1 27. August 2014

Anmelder: ENTEGRIS INC., Advanced Technology Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2768920
Aktenzeichen: EP11874382
Anmeldetag: 21. Oktober 2011
Veröffentlichung: 27. August 2014
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/02C11D7/06C11D3/04C11D3/43C11D7/50// C11D3/20C11D3/34C11D7/26C11D7/34

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

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