Drehkatode mit Multidirektionaler Laufspur für Pvd-Arrayanwendungen

EP2771497 Art A1 3. September 2014

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2771497
Aktenzeichen: EP11774052
Anmeldetag: 24. Oktober 2011
Veröffentlichung: 3. September 2014
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/34C23C14/35H01J37/34

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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