Positionieren und Laden eines Substrats in einem Belichtungsapparat
EP2772804
Art A1
3. September 2014
Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2772804
- Aktenzeichen
- EP14161585
- Anmeldetag
- 18. November 2005
- Veröffentlichung
- 3. September 2014
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20H01L21/027H01L21/68G01B11/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Nikon Corporation
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Nikon
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.
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Kanzlei
Arnold & Siedsma
Den Haag, Niederlande
Arnold & Siedsma wurde 1920 gegründet und liegt im Haager Büro in Laufnähe zum Benelux-Amt für geistiges Eigentum. Mit Standorten in den Niederlanden, Belgien, München und London stützt sie sich auf ein weltweites Agentennetzwerk.
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Hoffmann Eitle
Hoffmann Eitle · München