Halbleitervorrichtung zum Erfassen von Strahlung und Verfahren zum Herstellen einer Halbleitervorrichtung zum Erfassen von Strahlung

Details

Veröffentlichungs-Nr.

EP2772939

Aktenzeichen

EP13157432

Anmeldetag

1. März 2013

Veröffentlichung

19. Oktober 2016

Erteilung

19. Oktober 2016

Rechtsraum

EP

IPC

H01L27/146

Abstract

The semiconductor device for detection of radiation comprises a semiconductor substrate (1) with a main surface (11), a dielectric layer (6) comprising at least one compound of a semiconductor material, an integrated circuit (2) including at least one component sensitive to radiation (3), a wiring (4) of the integrated circuit, an electrically conductive through-substrate via (5) contacting the wiring, and a structured filter layer (7) arranged immediately on the dielectric layer above the component sensitive to radiation.

Anmelder

Firma

AMS AG

Land

🇦🇹 Österreich

Fachgebiete