Verfahren zur Vermeidung von Aufladungseffekten für die Lithographie und Elektronenmikroskopie

EP2774000 Art B1 6. September 2017

Anmelder: Université Paris-Sud 11, Centre National de la Recherche Scientifique 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2774000
Aktenzeichen: EP12795496
Anmeldetag: 30. Oktober 2012
Veröffentlichung: 6. September 2017
Erteilung: 6. September 2017
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/11G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Université Paris-Sud 11
Centre National de la Recherche Scientifique
Land: 🇫🇷 Frankreich

🇫🇷 Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)

Französische staatliche Forschungsorganisation mit Sitz in Paris. Betreibt Grundlagen- und angewandte Forschung in nahezu allen wissenschaftlichen Disziplinen über zahlreiche Institute und Labore.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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