Verfahren und Vorrichtung zur Abstimmung einer Elektrostatischen Ionenfalle
EP2774169
Art A2
10. September 2014
Anmelder: MKS Instruments, Inc., Brooks Automation, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2774169
- Aktenzeichen
- EP12791898
- Anmeldetag
- 30. Oktober 2012
- Veröffentlichung
- 10. September 2014
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J49/00H01J49/42H01J49/14H01J27/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- MKS Instruments, Inc.
Brooks Automation, Inc. - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
MKS Instruments
MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.
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Jenkins, Peter David
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