Halbleiter-Wafer mit einer Schicht aus AlzGa1-zN und Herstellungsverfahren

EP2779213 Art B1 6. Mai 2015

Anmelder: Siltronic AG, IHP GmbH-Innovations for High Performance Microelectronics / Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2779213
Aktenzeichen
EP13158844
Anmeldetag
12. März 2013
Veröffentlichung
6. Mai 2015
Erteilung
6. Mai 2015
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/20
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Siltronic AG
IHP GmbH-Innovations for High Performance Microelectronics / Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Siltronic

Deutscher Halbleiterzulieferer mit Sitz in München. Siltronic stellt hochreine Siliziumwafer für die Chip- und Elektronikindustrie her.

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