Zyklische Verbindung, Herstellungsverfahren Dafür, Strahlungsempfindliche Zusammensetzung und Verfahren zur Formung einer Resiststruktur

EP2781501 Art A1 24. September 2014

Anmelder: Mitsubishi Gas Chemical Company, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2781501
Aktenzeichen: EP12849406
Anmeldetag: 14. November 2012
Veröffentlichung: 24. September 2014
Rechtsraum: EP
IPC: C07C43/215C07C37/20C07C41/16G03F7/004G03F7/038H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Mitsubishi Gas Chemical Company, Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Mitsubishi Gas Chemical Company

Japanisches Chemieunternehmen der Mitsubishi-Gruppe mit Fokus auf technische Kunststoffe, Methanol und Spezialchemikalien. Der Konzern beliefert unter anderem die Elektronik- und Verpackungsindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik Organische Chemie

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