Selbstorganisierende Zusammensetzung zur Musterbildung und Musterbildungsverfahren

EP2781550 Art B1 16. Oktober 2019

Anmelder: JSR Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2781550
Aktenzeichen
EP12848021
Anmeldetag
1. November 2012
Veröffentlichung
16. Oktober 2019
Erteilung
16. Oktober 2019
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/00B81C1/00C08L53/00H01L21/00H01L21/30H01L21/32
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
JSR Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 JSR Corporation

JSR Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das synthetische Kautschuke sowie Materialien für die Halbleiter- und Displayindustrie herstellt.

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