Strahlungsempfindliche Harzzusammensetzung, Verfahren zur Bildung einer Resiststruktur, Polymer und polymerisierbare Verbindung

EP2781959 Art B1 24. April 2019

Anmelder: JSR Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2781959
Aktenzeichen: EP14157031
Anmeldetag: 17. September 2010
Veröffentlichung: 24. April 2019
Erteilung: 24. April 2019
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/004G03F7/039

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: JSR Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JSR Corporation

JSR Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das synthetische Kautschuke sowie Materialien für die Halbleiter- und Displayindustrie herstellt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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