Auf Spektralabgleich Basierende Kalibrierung
EP2783392
Art B1
14. September 2016
Anmelder: Kla-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2783392
- Aktenzeichen
- EP12852321
- Anmeldetag
- 20. November 2012
- Veröffentlichung
- 14. September 2016
- Erteilung
- 14. September 2016
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/66G01N21/21G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Kla-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
1.908 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Coyle, Philip Aidan
Dublin, Irland
642
Patente gesamt
34
Fachgebiete
23
Anmelder-Länder
Schwerpunkte