Sputtertarget und Herstellungsverfahren dafür

EP2784173 Art B1 22. Juni 2016

Anmelder: Mitsubishi Materials Corporation, Solar Frontier K.K., Showa Shell Sekiyu K. K. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2784173
Aktenzeichen
EP12845804
Anmeldetag
6. Juli 2012
Veröffentlichung
22. Juni 2016
Erteilung
22. Juni 2016
Rechtsraum
EP
IPC
C23C14/34B22F3/14B22F3/15C22C9/00B22F9/08C22C1/04
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Mitsubishi Materials Corporation
Solar Frontier K.K.
Showa Shell Sekiyu K. K.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Mitsubishi Materials

Japanisches Unternehmen der Mitsubishi-Gruppe mit Sitz in Tokio, tätig in der Verarbeitung von Metallen und Werkstoffen, unter anderem Kupfer, Zement, Hartmetallwerkzeuge und elektronische Materialien.

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