Methode für die Prozessierung einer Fotoresistzusammensetzung
EP2784584
Art A1
1. Oktober 2014
Anmelder: Rohm and Haas Electronic Materials LLC 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2784584
- Aktenzeichen
- EP14168690
- Anmeldetag
- 18. März 2009
- Veröffentlichung
- 1. Oktober 2014
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/004G03F7/038G03F7/039G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Rohm and Haas Electronic Materials LLC
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Rohm and Haas
Ehemaliger US-amerikanischer Spezialchemiekonzern mit Sitz in Philadelphia, unter anderem für Kunststoffe, Beschichtungen und Elektronikchemikalien bekannt. Wurde 2009 von Dow Chemical übernommen.
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