Plasmaerzeugungsquelle und Vakuumplasmaverarbeitungsvorrichtung damit

EP2785152 Art A1 1. Oktober 2014

Anmelder: Kabushiki Kaisha Kobe Seiko Sho (Kobe Steel, Ltd.) 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2785152
Aktenzeichen
EP12851989
Anmeldetag
20. November 2012
Veröffentlichung
1. Oktober 2014
Rechtsraum
EP
IPC
H05H1/46C23C14/34C23C16/50F25D7/00H01L21/3065
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Kabushiki Kaisha Kobe Seiko Sho (Kobe Steel, Ltd.)
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Kobe Steel

Japanischer Mischkonzern mit Sitz in Kobe, gegründet 1905. Tätigkeitsfelder umfassen Stahl- und Aluminiumerzeugnisse, Maschinenbau sowie Werkstofftechnik.

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