Polierkissen mit einer Unterschicht und einer Polierschicht
EP2785496
Art B1
24. November 2021
Anmelder: CMC Materials, Inc., Cabot Microelectronics Corporation, Nexplanar Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2785496
- Aktenzeichen
- EP12723064
- Anmeldetag
- 16. Mai 2012
- Veröffentlichung
- 24. November 2021
- Erteilung
- 24. November 2021
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B24D18/00B24B37/20B24B37/26B24B37/22B24B37/24
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- CMC Materials, Inc.
Cabot Microelectronics Corporation
Nexplanar Corporation - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Cabot Microelectronics
Cabot Microelectronics war ein US-amerikanischer Hersteller von Polierchemikalien für die Halbleiterfertigung und ist heute Teil von Entegris. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Farben, Klebstoffe und Brennstoffe sowie Halbleiterbauelemente, mit Bezug zur Werkzeug- und Fertigungstechnik. Die Anmeldungen bis 2019 betreffen unter anderem CMP-Zusammensetzungen für die Chip-Planarisierung.
290 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Price, Nigel John King
London, Großbritannien
2.373
Patente gesamt
34
Fachgebiete
28
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
J A Kemp LLP
J A Kemp LLP · London