Vakuumpumpe

EP2787218 Art B1 15. Mai 2019

Anmelder: Edwards Japan Limited, ARISAWA MFG. CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2787218
Aktenzeichen
EP12854483
Anmeldetag
28. November 2012
Veröffentlichung
15. Mai 2019
Erteilung
15. Mai 2019
Rechtsraum
EP
IPC
F04D19/04F04D29/02// B29C70/06
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen
Edwards Japan Limited
ARISAWA MFG. CO., LTD.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Edwards Japan

Edwards Japan ist die japanische Landesgesellschaft des Vakuumpumpenherstellers Edwards, der zur Atlas-Copco-Gruppe gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Energie- und Antriebstechnik sowie Maschinenelemente und Fluidtechnik, mit Bezug zur Halbleiterfertigung. Die Titel betreffen unter anderem die Erkennung von Fremdstoffablagerungen in Vakuumpumpen.

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