Spektrometer und Verfahren zum Betrieb

Details

Veröffentlichungs-Nr.

EP2787332

Aktenzeichen

EP13162144

Anmeldetag

3. April 2013

Veröffentlichung

20. Februar 2019

Erteilung

20. Februar 2019

Rechtsraum

EP

IPC

G01J3/42G01J3/02G01J1/42

Abstract

Die Erfindung betrifft ein Spektrometer mit einer ersten Lichtquelle (12), die Lichtstrahlung (24) in einem ersten Wellenlängenbereich erzeugt, einer zweiten Lichtquelle (14), die Lichtstrahlung (26) in einem zweiten Wellenlängenbereich erzeugt, einer Spiegeleinheit (16) zur Umlenkung der Lichtstrahlung (24, 26) in eine Messstrecke (18), wobei die Strahlung (24, 26) beider Wellenlängenbereiche die Messstrecke (18) auf dem gleichen optischen Pfad durchläuft, einem Detektor (20) zum Nachweis der die Messstrecke (18) durchlaufenen Strahlung (24, 26) und mit einer Auswerteeinheit (22) zum Auswerten der auf den Detektor (20) auftreffenden Strahlung (24, 26) und Bestimmen einer Konzentration einer in der Messstrecke (18) vorliegenden Messgaskomponente. Um ein verbessertes Spektrometer bereit zu stellen, mit dem auf kostengünstige Weise eine Mehrkanaligkeit erreicht werden kann und ein entsprechendes Verfahren zum Betrieb eines solchen Spektrometers bereit zu stellen, wird vorgeschlagen, dass die Spiegeleinheit (16) als Mikrospiegelarray (32) ausgebildet ist und ein einzelner Mikrospiegel (34) nur einen Teil der Strahlung (24, 26) umlenkt.

Anmelder

Firma

SICK AG

Land

🇩🇪 Deutschland

Fachgebiete