Verfahren und Herstellungswerkzeuge zur Herstellung optischer Vorrichtungen
Anmelder: Humboldt Universität zu Berlin, Karlsruher Institut für Technologie 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2787378
- Aktenzeichen
- EP14162345
- Anmeldetag
- 28. März 2014
- Veröffentlichung
- 11. September 2019
- Erteilung
- 11. September 2019
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G02B6/138G02B6/12G02B6/42
Abstract
An embodiment of the present invention relates to a method of fabricating an optical device, the method comprising the steps of: - depositing a photoresist layer (20) on a carrier (101), said photoresist layer containing at least one optical component (30, 40), - determining the position of the at least one optical component inside the photoresist layer before exposing the photoresist layer to a first radiation (lambda1), said first radiation being capable of transforming the photoresist layer from an unmodified state to a modified state, - elaborating a device pattern based on the position of the at least one optical component, and - fabricating the elaborated device pattern by locally exposing the photoresist layer to the first radiation and locally transforming the photoresist layer from the unmodified state to the modified state.
Anmelder
- Firmen
- Humboldt Universität zu Berlin
Karlsruher Institut für Technologie - Land
- 🇩🇪 Deutschland
Deutsche Universität und Forschungseinrichtung in Karlsruhe, entstanden aus Fusion von Universität und Großforschungszentrum, mit Lehre und Forschung in Natur-, Ingenieur- und Technikwissenschaften.
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Fachgebiete
Gründete seine Berliner Kanzlei 2005 nach Stationen bei Maikowski & Ninnemann und als Siemens-Patentanwalt mit Auslandseinsätzen in New Jersey und Singapur. Promovierter Elektrotechniker, berät zu Patenten, Marken und Designschutz und ist bei VDE, IEEE und AIPPI aktiv.