Verpackungskompatible Kappung von Mems-Vorrichtungen auf Waferebene
EP2788280
Art B1
20. Juni 2018
Anmelder: Georgia Tech Research Corporation, Kohl, Paul, A., Saha, Rajarshi, Fritz, Nathan 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2788280
- Aktenzeichen
- EP12810454
- Anmeldetag
- 6. Dezember 2012
- Veröffentlichung
- 20. Juni 2018
- Erteilung
- 20. Juni 2018
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B81C1/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Georgia Tech Research Corporation
Kohl, Paul, A.
Saha, Rajarshi
Fritz, Nathan - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Georgia Tech Research Corporation
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