Gasinjektor für Plasmaapplikator

EP2789005 Art A1 15. Oktober 2014

Anmelder: MKS Instruments, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2789005
Aktenzeichen
EP12809402
Anmeldetag
4. Dezember 2012
Veröffentlichung
15. Oktober 2014
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/32C23C16/455
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
MKS Instruments, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 MKS Instruments

MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.

425 Patente in unserer Datenbank

Noch Fragen?

Wir helfen Ihnen gerne weiter. Schreiben Sie uns einfach.

Kontakt aufnehmen