Belichtungsvorrichtung und Herstellungsverfahren für eine Struktur
EP2790206
Art B1
9. August 2017
Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2790206
- Aktenzeichen
- EP12855433
- Anmeldetag
- 5. Dezember 2012
- Veröffentlichung
- 9. August 2017
- Erteilung
- 9. August 2017
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20H01L21/027G01B11/00G02B5/18
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Hitachi High-Technologies Corporation
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Hitachi High-Tech Corporation
Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.
3.840 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Addiss, John William
London, Großbritannien
518
Patente gesamt
31
Fachgebiete
10
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Calderbank, Thomas Roger
NoneLondon