Lenksystem für einen Tröpfchengenerator

EP2790783 Art A1 22. Oktober 2014

Anmelder: ASML Netherlands B.V., ASML Netherlands BV, Cymer, LLC 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2790783
Aktenzeichen: EP12858121
Anmeldetag: 20. November 2012
Veröffentlichung: 22. Oktober 2014
Rechtsraum: EP
IPC: A61N5/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: ASML Netherlands B.V.
ASML Netherlands BV
Cymer, LLC
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Medizintechnik & Gesundheit

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