Verfahren zur Freisetzung eines Mikromechanischen Bauteils mit Zerbrechlichen Befestigungselementen
EP2794463
Art B1
15. März 2017
Anmelder: CSEM Centre Suisse d'Electronique et de Microtechnique SA - Recherche et Développement 🇨🇭
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2794463
- Aktenzeichen
- EP12821019
- Anmeldetag
- 21. Dezember 2012
- Veröffentlichung
- 15. März 2017
- Erteilung
- 15. März 2017
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B81C99/00B81B3/00
Abstract
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Anmelder
- Firma
- CSEM Centre Suisse d'Electronique et de Microtechnique SA - Recherche et Développement
- Land
- 🇨🇭 Schweiz
🇨🇭
CSEM Centre Suisse d'Electronique et de Microtechnique SA - Recherche et Développement
CSEM Centre Suisse d'Electronique et de Microtechnique ist ein Schweizer Forschungsinstitut für Mikrotechnik, Elektronik und angewandte Wissenschaften. Der Patentbestand konzentriert sich auf Mess- und Prüftechnik sowie Halbleiter-, Medizin- und Optiktechnik.
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