Systeme und Verfahren zur Anzeige von Spektroskopiedaten

EP2798332 Art A1 5. November 2014

Anmelder: Elemental Scientific Lasers, LLC, Electro Scientific Industries, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2798332
Aktenzeichen
EP12862460
Anmeldetag
21. Dezember 2012
Veröffentlichung
5. November 2014
Rechtsraum
EP
IPC
G01N21/25H01J49/00H01J49/04H01J49/10
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Elemental Scientific Lasers, LLC
Electro Scientific Industries, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Electro Scientific Industries

Electro Scientific Industries ist ein US-amerikanischer Hersteller von Lasersystemen für die Halbleiter- und Elektronikfertigung und gehört zur MKS-Instruments-Gruppe. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Werkzeug- und Fertigungstechnik sowie Halbleiterbauelemente, ergänzt durch Mess- und Optiktechnik. Anmeldungen laufen von 2000 bis 2024.

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