Yttriumoxidbeschichtungsfilm

EP2799587 Art A1 5. November 2014

Anmelder: Fujimi Incorporated 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2799587
Aktenzeichen: EP12863678
Anmeldetag: 26. Dezember 2012
Veröffentlichung: 5. November 2014
Rechtsraum: EP
IPC: C23C4/10C23C4/02C23C4/12H01B3/10

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Fujimi Incorporated
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Fujimi

Fujimi ist ein japanischer Hersteller von Poliermitteln, vor allem für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Farben und Klebstoffe sowie Halbleiterbauelemente und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind seit 2000 dokumentiert.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von