Vorrichtung zur Unterstützung bei der Einstellung der Herstellungsbedingungen eines Quarzglastiegels, Vorrichtung zur Unterstützung bei der Einstellung der Herstellungsbedingungen einer Form zur Herstellung eines Quarzglastiegels, Vorrichtung zur Unterstützung bei der Einstellung der Bedingungen zum Anheben von Einkristallinem Silicium Mithilfe des Quarzglastiegels

EP2799598 Art A1 5. November 2014

Anmelder: SUMCO CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2799598
Aktenzeichen
EP12863396
Anmeldetag
31. Oktober 2012
Veröffentlichung
5. November 2014
Rechtsraum
EP
IPC
C30B29/06C03B19/09C30B15/10G06F17/50B01L3/04
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
SUMCO CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Sumco

Sumco ist ein japanischer Hersteller von Siliziumwafern für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich entsprechend auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie- und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

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