System und Verfahren zur Überwachung von Wafer-Handhabung und Wafer-Handhabungsmaschine
EP2800132
Art B1
28. Juni 2017
Anmelder: Globalfoundries Inc., GlobalFoundries, Inc. 🇰🇾
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2800132
- Aktenzeichen
- EP14166341
- Anmeldetag
- 29. April 2014
- Veröffentlichung
- 28. Juni 2017
- Erteilung
- 28. Juni 2017
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/67H01L21/68B25J19/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Globalfoundries Inc.
GlobalFoundries, Inc. - Land
- 🇰🇾 KY
🇰🇾
GlobalFoundries
GlobalFoundries ist ein Halbleiterhersteller, der als Auftragsfertiger (Foundry) Chips für zahlreiche Kunden produziert; die Gesellschaft ist auf den Cayman Islands registriert. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter- und elektrische Bauelemente sowie Software. Die Anmeldungen von 2000 bis 2018 betreffen unter anderem Kontaktstrukturen und Fertigungsverfahren für Halbleiterbauelemente.
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