Verfahren zum Messen einer Dreidimensionalen Form eines Quarzglastiegels und Verfahren zur Herstellung von Einkristallinem Silizium

EP2801787 Art B1 24. April 2019

Anmelder: Sumco Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2801787
Aktenzeichen: EP12861132
Anmeldetag: 31. Oktober 2012
Veröffentlichung: 24. April 2019
Erteilung: 24. April 2019
Rechtsraum: EP
IPC: G01B11/24C03B20/00C30B15/10C30B29/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Sumco Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Sumco

Sumco ist ein japanischer Hersteller von Siliziumwafern für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich entsprechend auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie- und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Metallurgie & Oberflächentechnik

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