Di-T-Butoxydiacetoxysilan-Basierte Silsesquioxanharze als Antireflexives Hartmaskenbeschichtungsmaterial und Herstellungsverfahren dafür

EP2802617 Art A1 19. November 2014

Anmelder: Dow Corning Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2802617
Aktenzeichen
EP13700957
Anmeldetag
8. Januar 2013
Veröffentlichung
19. November 2014
Rechtsraum
EP
IPC
C08G77/04H01L21/312C09D183/04
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Dow Corning Corporation
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Dow Corning

US-amerikanischer Hersteller von Silikonen und siliziumbasierten Materialien mit Sitz in Michigan, gegründet 1943 als Joint Venture von Dow Chemical und Corning. Das Unternehmen firmiert heute als Dow Silicones Corporation.

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