Verfahren und Vorrichtung für Datenbankgestützte Retikelinspektion zur Requalifizierung
EP2803079
Art A1
19. November 2014
Anmelder: KLA-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2803079
- Aktenzeichen
- EP12864759
- Anmeldetag
- 1. Oktober 2012
- Veröffentlichung
- 19. November 2014
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/027G03F1/44G03F1/36
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
495 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Coyle, Philip Aidan
Dublin, Irland
642
Patente gesamt
34
Fachgebiete
23
Anmelder-Länder
Schwerpunkte