Verformbares optisches System und und Steuerungsverfahren dafür sowie Ein Lithographiesystem mit dem verformbaren optischen System
EP2804041
Art A1
19. November 2014
Anmelder: Nederlandse Organisatie voor toegepast- natuurwetenschappelijk onderzoek TNO, Nederlandse Organisatie voor Toegepast -Natuurwetenschappelijk Onderzoek TNO 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2804041
- Aktenzeichen
- EP13167533
- Anmeldetag
- 13. Mai 2013
- Veröffentlichung
- 19. November 2014
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G02B26/08G03F7/20
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- Nederlandse Organisatie voor toegepast- natuurwetenschappelijk onderzoek TNO
Nederlandse Organisatie voor Toegepast -Natuurwetenschappelijk Onderzoek TNO - Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
TNO (Nederlandse Organisatie voor toegepast-natuurwetenschappelijk onderzoek)
Niederländisches, unabhängiges Forschungsinstitut für angewandte Naturwissenschaften mit Sitz in Den Haag. TNO betreibt anwendungsorientierte Forschung und Entwicklung in Bereichen wie Energie, Mobilität, Gesundheit, Verteidigung und Informationstechnologie.
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Fachgebiete
Vertreten von
Jansen, Cornelis Marinus
Den Haag, Niederlande
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V.O
V.O · Den Haag