System zur Durchflussüberwachung durch Massendurchflussregler in Echtzeit

EP2805136 Art B1 10. März 2021

Anmelder: MKS Instruments, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2805136
Aktenzeichen: EP13702121
Anmeldetag: 9. Januar 2013
Veröffentlichung: 10. März 2021
Erteilung: 10. März 2021
Rechtsraum: EP
IPC: G01F25/00G05D7/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: MKS Instruments, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 MKS Instruments

MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Steuerungs- & Regelungstechnik

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