Aus einer sinterungsresistenten Metalllegierung mit hohem Schmelzpunkt geformtes Target, Metallsilicid mit hohem Schmelzpunkt, Metallcarbid mit hohem Schmelzpunkt, Metallnitrid mit hohem Schmelzpunkt oder Metallborid mit hohem Schmelzpunkt, Verfahren zur Herstellung des Targets, Anordnung für eine Sputter-Target-Rückplatte und Herstellungsverfahren dafür

EP2806048 Art B1 11. Oktober 2017

Anmelder: JX Nippon Mining & Metals Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2806048
Aktenzeichen
EP14178019
Anmeldetag
30. Januar 2008
Veröffentlichung
11. Oktober 2017
Erteilung
11. Oktober 2017
Rechtsraum
EP
IPC
C23C14/34B23K20/00C04B37/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
JX Nippon Mining & Metals Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 JX Nippon Mining & Metals

JX Nippon Mining & Metals Corporation ist ein japanisches Unternehmen der Nichteisenmetallindustrie, das Kupfer, Halbleitermaterialien und Metallverarbeitung herstellt, Teil der ENEOS-Gruppe.

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