Röntgenstrahlenvorrichtung, Verfahren, Herstellungsverfahren für Struktur, Programm und Aufzeichnungsmedium mit Darauf Aufgezeichnetem Programm

EP2806264 Art B1 31. Oktober 2018

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2806264
Aktenzeichen: EP13738159
Anmeldetag: 18. Januar 2013
Veröffentlichung: 31. Oktober 2018
Erteilung: 31. Oktober 2018
Rechtsraum: EP
IPC: G01N23/04G01N23/087G05B15/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Steuerungs- & Regelungstechnik

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