Ansteuerverfahren für einen Raumlichtmodulator, Verfahren zum Erzeugen eines Belichtungsmusters sowie Belichtungsverfahren und -Vorrichtung

EP2806451 Art B1 25. Januar 2023

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2806451
Aktenzeichen: EP12865561
Anmeldetag: 26. Dezember 2012
Veröffentlichung: 25. Januar 2023
Erteilung: 25. Januar 2023
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/027G02B26/08G03F7/20G02F1/29

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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